當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
•帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發(fā)光(圖1);
•射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;
•四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;
•此款設(shè)備可安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線(xiàn)導(dǎo)入到電腦(圖2、3);
•此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。
基本參數(shù):
•最高工作溫度1500℃(<30min);連續(xù)使用溫度1400℃;
•三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護(hù);
•·輸入電源: 208-240V,AC,單相;最大功率:6.6 KW;
•內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
•注意:此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購(gòu)買(mǎi)前請(qǐng)與我們銷(xiāo)售確定爐管相關(guān)事宜。
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達(dá)10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶(hù)可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;
•氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;
• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸和重量:
•爐體尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H
•爐體下端移動(dòng)柜:1800mm L'600mm W'600mm H
•凈重:100 kg
•運(yùn)輸重量:550 kg
承諾:
一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件